ZIROX真空密闭氧探头ZrO 2系列
电位计 ZrO 2电池用作传感器元件。
在此，二氧化锆的氧离子电导率在高温下使用。传感器元件构造为管状电池。
参比电极以空气作为参比，除了电加热器外，还位于封闭管内。
测量电极位于 ZrO 2管的外侧。
电极两端的电压与电极两端氧分压差的对数成正比。
所有用于加热控制和信号预处理的电子设备都安装在探头的连接头中。它还包含一个隔膜泵
，为参比电极提供空气。加热被调节到 700 °C。
输出信号 0 ... 20 mA 与电池电压成正比。
应用领域
真空系统中的O 2测量（PVD 或磁控溅射）
低压系统中的过程监控
注意
与在常压下使用的探头不同，真空探头不是免校准的，因为由于热能的压力依赖性耗散而无法实现等温测量电极，这是应用 Nernst 方程的先决条件。用户必须使用测试测量来校准探头。
