ZIROX真空探头专为常压下不发生的等离子体和工艺气体中的氧气测量而开发
时间：2023-02-27 访问量：1836
ZIROX真空探头专为常压下不发生的等离子体和工艺气体中的氧气测量而开发
ZIROX 真空探头专为常压下不发生的等离子体和工艺气体中的氧气测量而开发（涂层工艺、表面处理工艺、材料科学研究）。涂层方法的典型示例是溅射或雾化、热蒸发、电子束蒸发、空心阴极蒸发、真空电弧蒸发、化学气相沉积 (CVD) 及其等离子增强或金属有机形式的 PECVD 和 MOCVD。
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